Южнокорейские специалисты разработали технологию, которая позволит существенно повысить производительность установок, работающих с тонкими пленками. В частности, ее можно использовать при изготовлении панелей OLED.
Разработка касается этапа отделения тонкопленочных структур от подложки. Сейчас слои переносятся по одному, что сопряжено с высоким риском повреждения, а поскольку панель OLED может включать до 20 функциональных слоев, итогом становятся большие затраты времени и снижение процента выхода годной продукции. Источник называет процесс переноса основным препятствием к освоению массового выпуска панелей OLED.
Исследователи предложили использовать для отделения поток газа под давлением. Причем многослойная структура переносится за один прием. Поток газа (в этом качестве можно использовать водород, аргон или даже смесь газов — обычный воздух) не только аккуратно отделяет пленки, но и уплотняет структуру, дополнительно скрепляя слои между собой.
Тонкопленочные структуры, полученные таким способом, имеют более высокое качество поверхности — неровности не превышают 5,2 нм, тогда как старая технология обеспечивает показатель 47,3 нм. Технология может найти применение при производстве OLED, солнечных батарей и других изделий.